在現(xiàn)在電子元件制作中，靶材是十分重要的一種零件，需求量很大。那么靶材在制備時(shí)有什么要求？它的選用原則又是怎樣的，凱澤金屬結(jié)合資料，將其整理如下：
一、靶材的制備要求
1、純度
制備靶材要求材料的雜質(zhì)含量低純度高，靶材的純度會(huì)對(duì)薄膜的均勻性產(chǎn)生影響，純度越高，制作出來的靶材耐蝕性、電學(xué)和光學(xué)性能越好。但不同用途的靶材對(duì)純度的要求也不同，比如說，在工業(yè)中使用的靶材對(duì)于純度的要求就不太高；但半導(dǎo)體、顯示器等領(lǐng)域的靶材對(duì)于純度的要求還是比較高的。
2、高致密度
靶材一般要求要有較高的致密度，較高的致密度能夠減少靶材中的氣孔，提高薄膜的性能。而且靶材的致密度除了會(huì)影響在濺射時(shí)的沉積速度、濺射膜粒子的密度外，還會(huì)對(duì)靶材濺射薄膜的電學(xué)性能和光學(xué)性能產(chǎn)生影響。
靶材的致密性越好，它的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性就越好，這樣的靶材使用起來濺射功率小，成膜的速度也越快，制成的薄膜也不容易開裂，能夠延長靶材的使用時(shí)間。
3、成分與組織結(jié)構(gòu)均勻
靶材成分均勻會(huì)對(duì)鍍膜質(zhì)量產(chǎn)生影響，特別是對(duì)于復(fù)相結(jié)構(gòu)的合金靶材與混合靶材。
4、晶粒尺寸
靶材的晶粒尺寸也會(huì)影響靶材的性能，靶材的晶粒尺寸越細(xì)小，濺射鍍膜的厚度就會(huì)分布的更均勻，濺射的速度也就越快。
二、靶材的選用原則
1、靶材在鍍膜成型后應(yīng)該具備良好的機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性。
2、靶材需要選取與基體有著較好結(jié)合力的膜材，且與基體集合牢固，在濺射一層底膜之后才能進(jìn)行所需模具的制備。
3、用作反應(yīng)濺射成膜的膜材需要能夠較為容易地與反應(yīng)氣體集合生成化合物膜。
4、在能夠滿足膜性能要求的前提下，靶材與基體的熱膨脹系數(shù)的差值越小越好，這樣能夠減小濺射膜熱應(yīng)力的影響。
5、根據(jù)膜的用途和性能要求不同，選擇使用的靶材的要求也不同，所選用的靶材需要能滿足其純度、雜質(zhì)含量、組分均勻性、機(jī)械加工精度等要求。
以上就是對(duì)靶材的制備要求及選用原則的全部介紹，靶材在制備中要求越高，制作出來的靶材性能也就越好，更能滿足產(chǎn)品的需要。寶雞市凱澤金屬材料有限公司生產(chǎn)的有鈦靶、鎳靶、鉻靶、鋯靶、鈦鋁靶等各種靶材，如果您有相關(guān)需要，歡迎致電咨詢。
相關(guān)鏈接
